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天眼查App顯示，盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司于2023年6月28日申請(qǐng)了一項(xiàng)名為“具有液體排放功能的晶圓傳輸裝置”的發(fā)明專利，并于2024年12月31日正式公開(kāi)。該專利由朱國(guó)輝、孫建、秦真江和王暉共同發(fā)明，旨在解決晶圓傳輸過(guò)程中液體滴落的問(wèn)題。

該裝置包括機(jī)器手、接液裝置、排液裝置、控制器和收集倉(cāng)。接液裝置設(shè)置在機(jī)器手下方，并隨機(jī)器手移動(dòng)，以接收機(jī)器手上滴落的液體。排液裝置包括排液管路和控制閥，排液管路與接液裝置連接，控制閥設(shè)置于排液管路，用于控制排液管路的通斷?？刂破髋c機(jī)器手和控制閥分別通信連接，用于控制機(jī)器手的移動(dòng)和控制閥的打開(kāi)和關(guān)閉。收集倉(cāng)位于預(yù)定排液位置。

當(dāng)接液裝置內(nèi)液體的液位達(dá)到預(yù)設(shè)液位時(shí)，控制器先控制機(jī)器手移動(dòng)到預(yù)定排液位置，再控制控制閥打開(kāi)，使得排液管路向收集倉(cāng)排放接液裝置內(nèi)的液體。這一設(shè)計(jì)不僅能夠控制接液裝置內(nèi)液體的存儲(chǔ)和排出，還不限制機(jī)器手的運(yùn)動(dòng)，從而不影響機(jī)器手的正常工藝時(shí)間。

該專利的公開(kāi)標(biāo)志著盛美半導(dǎo)體在晶圓傳輸技術(shù)領(lǐng)域的又一重要突破，有望進(jìn)一步提升半導(dǎo)體制造的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

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