DoNews9月18日消息,近期,一則消息在各大視頻平臺(tái)廣為傳播,稱(chēng)清華大學(xué) EUV 項(xiàng)目把 ASML 的光刻機(jī)巨大化,實(shí)現(xiàn)了光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化,并表示這個(gè)項(xiàng)目已經(jīng)在雄安新區(qū)落地。
對(duì)此,中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司(下稱(chēng)“中國(guó)電子院”)18日下午發(fā)聲,稱(chēng)該項(xiàng)目并非網(wǎng)傳的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)工廠,而是北京高能同步輻射光源項(xiàng)目(HEPS)。
中國(guó)電子院表示,簡(jiǎn)單的說(shuō),HEPS 可以看成是一個(gè)超精密、超高速、具有強(qiáng)大穿透力的巨型 X 光機(jī)。它產(chǎn)生的小光束可以穿透物質(zhì)、深入內(nèi)部進(jìn)行立體掃描,從分子、原子的尺度多維度地觀察微觀世界,HEPS 是進(jìn)行科學(xué)實(shí)驗(yàn)的大科學(xué)裝置,并不是網(wǎng)傳的光刻機(jī)工廠。
中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司創(chuàng)建于 1953 年,曾先后隸屬于電子工業(yè)部、信息產(chǎn)業(yè)部,2003 年由國(guó)務(wù)院國(guó)資委管理,2009 年并入國(guó)家開(kāi)發(fā)投資集團(tuán)有限公司。